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无尘车间洁净室设计无尘洁净室基本常识有哪些？无尘车间洁净室设计无尘洁净室基本常识有哪些？

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2024-02-25 05:21:02

无尘车间洁净室设计

无尘洁净室基本常识有哪些？

无尘洁净室基本常识有哪些？

无尘室的等级要求及等级划分：
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别，无尘室吸尘器每个立方米内含的灰尘粒子越少表示无尘室等级越高。
无尘室等级从高到低可划分为：百级，千级，万级，十万级。

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乱流洁净室一般按换气次数估算: 1000级洁净室不小于50次/h； 10000级洁净室不小于25次/h； 100000级洁净室不小于15次/h。万级换气次数≥25次/小时(一般取27-28)；十万级换气次数≥15次/小时(一般17-18) 但是不能盲目按照换气次数进行设计风量，要考虑房间及工艺余热、余湿。否则刚开始风量也许能满足温湿度要求，系统运行一段时间后就不会效

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